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氟化液溫度控制單元
氟化液溫度控制單元可應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造流程中溫度控制,或是數(shù)據(jù)中心、功率器件、航空電子設(shè)備中的散熱或是熱管理。
氟化液是不可燃的絕緣液體,具有工作溫度范圍寬泛,易于維護(hù)、易清洗的特點(diǎn),是傳統(tǒng)冷卻液體(如水、水乙二醇或油)的替代品。
氟化液溫度控制單元適用于:
半導(dǎo)體行業(yè)熱管理
半導(dǎo)體芯片和設(shè)備冷卻
冷板冷卻(CPC)
等離子刻蝕
自動(dòng)化測(cè)試
化學(xué)氣相沉積(CVD)
影印石版術(shù)(光刻機(jī))
反應(yīng)釜夾套溫度控制
氟化液溫度控制單元具有極寬的溫度范圍,控溫精度高,良好的可靠性和穩(wěn)定性等特點(diǎn),可根據(jù)項(xiàng)目要求和氟化液性質(zhì)提供定制化設(shè)計(jì)方案,包括溫度范圍/控溫精度/外觀尺寸/控制方式等
杭州三浦精密儀器有限公司是一家專業(yè)的溫度控制單元供應(yīng)商,擁有多個(gè)行業(yè)溫度控制解決方案,致力于提供高效、經(jīng)濟(jì)、易于維護(hù)的溫度控制設(shè)備,產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域包括半導(dǎo)體、生物制藥、化工、新能源、光伏、新材料等領(lǐng)域